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適用于小樣品檢測的3D表面形狀測量系統(tǒng)介紹

發(fā)布時間：2022-04-08　點擊量：619

適用于小樣品檢測的3D表面形狀測量系統(tǒng)介紹

它是一個使用白光干涉技術(shù)的系統(tǒng)，可以非接觸測量包括臺階和粗糙度在內(nèi)的三維形狀。

Profilm 3D 適用于測量小樣本，涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能，并且比傳統(tǒng)產(chǎn)品更緊湊、更便宜。
多種測量模式，包括垂直掃描干涉法 (WLI)，適合微米級臺階和形狀的高精度測量，相移干涉法 (PSI)，適合測量納米級形狀和粗糙度。包括標(biāo)準(zhǔn)步驟樣品在內(nèi)的一切都是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，包括用于放大物鏡、自動載物臺以及便于操作和分析和管理測量數(shù)據(jù)的軟件。

主要特點

  • 低價！
    在配備所有必要功能的同時實現(xiàn)低價

  • 納米量級
    的高分辨率 采用相移干涉法實現(xiàn)高分辨率

  • 全標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
    XY自動載物臺、手動左輪、自動光強(qiáng)調(diào)節(jié)、自動對焦功能

  • 緊湊型外殼
    主體占地面積為 30 x 30 厘米的緊湊型設(shè)計。

  • 配備 WLI 和 PSI 兩種測量模式
    一個裝置同時測量步距測量和粗糙度測量

  • 操作
    簡單 基本操作只需簡單的鼠標(biāo)操作

  • 符合 ISO 標(biāo)準(zhǔn)的粗糙度測量符合
    國際標(biāo)準(zhǔn) ISO25178

  • 擴(kuò)展
    性 多種物鏡選擇、數(shù)據(jù)拼接功能

主要用途

半導(dǎo)體晶圓凸塊、CMP焊盤等
醫(yī)療領(lǐng)域注射針、人工關(guān)節(jié)、支架等
安裝板銅線、凸塊、透鏡等



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