紅外光非接觸式測厚儀的檢測優(yōu)勢

紅外線可以穿過某些物質(zhì)。
這是一種利用此特性在不接觸的情況下測量特定材料厚度的技術(shù)。

由于電子設(shè)備中使用的硅、藍寶石、水晶和其他化合物的表面都經(jīng)過高精度拋光，因此不能使用基于接觸的厚度測量，因為它會劃傷它們。
此外，由于材料會變形，因此無法通過接觸法準確測量橡膠、薄膜、軟樹脂等的厚度。

激光和電容是非接觸式厚度測量的常用方法，但這些是位移計，不能測量絕對值。我們的紅外光法可以測量絕對值。

紅外光測厚原理

當紅外光投射到工件上時，它首先被表面反射。
此外，紅外光透過工件內(nèi)部并在背面反射。
正反兩面反射的光被光學探頭接收，利用正反兩面反射光的時間差作為光干涉差來測量厚度。

允許對多層進行單獨的厚度測量

基于此原理，在如上圖所示的多層工件的情況下，可以從各個反射光的干涉差來測量單個厚度。

以上是PC上顯示反射光干涉狀態(tài)的界面。
從波形的左邊看，它變成了R1到R4的干擾波。每個干涉差（Peak to Peak）是每一層的厚度。

絕對值測量的*性

《相對值測量》

位移計是一種相對值測量，它測量距離的差異作為厚度。因此，必須準備一個參考平面（零點）。
此外，如果到參考表面的距離 (Gs) 不是恒定的，則會出現(xiàn)錯誤。如果無法維持或隨時間變化，則每次執(zhí)行測量時都需要進行零點復(fù)位。

《絕對值測量》

紅外光測量是通過前后表面反射光的干涉差獲得的，因此只需將工件放在傳感器頭下方即可測量絕對厚度。
即使到工件的距離（Ga）有一定波動，如果范圍小于最大測量厚度（約4mm）-工件厚度（t），測量值和精度不會受到影響。

  

測量距離的*性

為了用位移計達到0.1μm的精度，傳感器頭到工件的距離一般必須在10mm以下。
采用這種紅外光法，測量距離可任意設(shè)置，最大可達1000mm左右，可保持0.1μm的測量精度。